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更新时间：2018-04-15 
浏览次数：1528高温箱式真空气氛炉怎么使用1准备工作
a,检查电源线接触是否良好
b,检查连接线是否正常
c,检查冷却水是否正常
d,检查密封性是否正常
e,准备所需工具：无尘纸、*、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘
2开炉
a,打开主电源开关
b,向炉体充氩气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板
c,将输送车开关打至OUT，依次操作UP-FORWARD-UP-BACK-DOWN按钮，取出。石墨坩埚，依次放置于石墨推车上输送车开关.
d,清炉清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物
3装料
a,将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。
b、拔出限位杆，输送车开关打至IN，依次操作UP-FORWARD-BACK-DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。
c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门
4抽气
a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封
b、置DP按钮于DPON，打开干式真空泵，打开真空计开关P1G1，打开干式真空泵。阀门，开始抽气测试泄漏率，
c、当压力表指示为50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开氩气阀门充氩气（20L/min）。
加热先打开水环泵再按RUN，开始工艺加热。
冷却
a、加热结束后，按工艺条件进行冷却；
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